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leyu乐鱼体育官网入口:探究:金刚线切割单晶硅片制绒白斑问题

来源:leyu乐鱼体育   发布时间:2022-07-15 21:28nbsp;  点击量:

本文摘要:1.章节 金刚线切割技术也被称作溶磨料切割成技术。它是利用电镀或树脂粘合的方法将金刚石磨料溶在钢线表面,将金刚线必要起到于硅棒或硅锭表面产生磨削,超过切割成的效果。 金刚线切割具备切割成速度快,切割成精度高,材料损耗低等特点。 目前单晶市场上对金刚线切割硅片早已几乎拒绝接受,但在前进过程中也遇上过,其中制绒金黄色是最少见的问题。针对此,本文重点分析了如何防治金刚线切割单晶硅片制绒金黄色的问题。

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1.章节  金刚线切割技术也被称作溶磨料切割成技术。它是利用电镀或树脂粘合的方法将金刚石磨料溶在钢线表面,将金刚线必要起到于硅棒或硅锭表面产生磨削,超过切割成的效果。

金刚线切割具备切割成速度快,切割成精度高,材料损耗低等特点。  目前单晶市场上对金刚线切割硅片早已几乎拒绝接受,但在前进过程中也遇上过,其中制绒金黄色是最少见的问题。针对此,本文重点分析了如何防治金刚线切割单晶硅片制绒金黄色的问题。

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  金刚线切割单晶硅片清除工序是将线锯机床切割成完的硅片从树脂板上瓦解下来,将胶条除去后,将硅片清除整洁。清除设备主要是实清洗机(脱胶机)和清洗机。实清洗机的主要清除流程为:上漆-喷淋-喷淋-成像清除-脱胶-清水漂洗-下漆。

清洗机的主要清除流程为:上漆-纯水漂洗-纯水漂洗-碱洗-碱洗-纯水漂洗-纯水漂洗-实水解(快哥特人)-浸泡-下漆。  2.单晶制绒的原理  单晶硅片制绒是利用碱液对单晶硅片展开各向异性生锈的特点来制取绒面。反应原理如下化学反应方程式  Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2uarr;  从本质上谈,绒面构成过程是:NaOH溶液对有所不同晶面的生锈速率有所不同,(100)面的生锈速度比(111)面大十倍以上,所以(100)晶向的单晶硅片经各向异性生锈后,最后在表面构成许许多多表面为(111)的四面方锥体,即“金字塔”结构(如图1)。

此结构构成后,当光入射光到一定角度的金字塔斜面,光不会光线到另一角度的斜面,构成二次或更加多次吸取,从而增加硅片表面的反射率,即陷光效应(如图2)。“金字塔”结构的大小与均匀分布性越少,陷光效应就越显著,硅片表面发射率就越较低。  3.单晶制绒金黄色的原因分析  对制绒金黄色的硅片展开了扫描电镜的检测,找到制绒金黄色的区域其制绒后的金字塔微结构基本没构成,表面或许有一层“蜡状”的残留物,而同一张硅片并未经常出现金黄色区域的绒面的金字塔结构构成较好(如图3)。

如果单晶硅片表面局部区域有残留物,会造硅片表面有残余区域“金字塔”结构大小和均匀分布性分解与效果较长时间区域有严重不足,从而导致有残余区域制绒表面反射率较长时间区域低,反射率低的区域对比长时间区域在视觉上反映为金黄色。从金黄色的区域产于形状可以显现出,其并不是有规律或者规则的形状大面积经常出现的,而只是局部区域经常出现的,应当是硅片表面局部的污染物没被清除整洁,或者硅片表面局面被二次污染造成的。


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